热式质量流量计基于热扩散原理，其典型的传感器元件包括两个铂热电阻。当这两个热电阻放在流体中时，其中一个被加热，另一个用来测量介质的温度。两个热电阻之间的温差与工艺流量和工艺机理的性质有关，根据测量方法的不同可分为恒温差法和恒功率法。

热式质量流量计是一种气体测量仪器，具有诸多优点和宽量程比。大口径可做成球阀插入式，便于后续拆卸、组装和维护，有多种供电方式，如24v或220v，底部管道局部表头显示，高空管道分体表头显示，但并不适合所有场合。

1.热式质量流量计是根据热扩散原理设计的。流量计的探头加热温度根据测量的介质温度确定。一般探头加热温度比介质温度高50度。可以看出，流量计在正常测量时要求被测介质温度相对恒定，此时加热电流与介质流量成正比;

2.热式质量流量计可以测量几乎所有的单一气体介质，但实际测量中需要测量的混合气体很多。此时，当选择热气体质量流量计时，对混合气体成分有要求。所有气体流量计校准时，用空的作为被测介质，搜索单一介质即可得到标准换算系数。

3.压力;不建议在高压条件下使用热气体质量流量计。热测量重要的一点是介质的热容量。当场中压力过高时，介质单位体积的载热量非常大。在压缩系数和反应速率的双重影响下，流量计的测量值会小于实际使用。

4.温度高;测量高温介质意味着传感器的温度电阻较高，测量高温介质时整个电路的功耗增加。目前，热式质量流量计可以承受高达400度的高温，能够满足大多数现场要求。但与孔板差压流量计相比，耐高温性能较差。