多晶硅还原炉冷却水管路中的的流量开关应用

多晶硅还原炉冷却对于现场安全至关重要，如不能及时对冷却水进行监控，将引起氢气泄漏，引起爆炸。热式流量开关根据其产品特点——无可动部件，全不锈钢材质，防护等级高可全面满足化工行业尤其是在冷却水或是润滑油路上，是大多数化工企业常用的开关类仪表！

多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质。

热式流量开关在多晶硅还原炉水冷却中的应用

还原炉里面是用纯的氢气以及三氯氢硅，在1100°条件左右进行反应，生成的硅沉积在硅棒表面，慢慢的生长，一般都要72小时以上时间不间断的供料供电。炉壁式夹层，用循环水进行冷却。

危险系数极高，主要体现在以下几个方面：

1、冷却水供应不上烧坏炉壁，溅落炉内造成爆炸；

2、电极和视镜是整个还原炉最脆弱的地方，一定要保证冷却水；

3、氢气可能泄露，引起爆炸；

比利科技优质产品-热式流量开关

热式流量开关工作原理：

基于热式原理,在封闭的探头内包含两个电阻，其中一个被加热作为探测电阻，另一个未被加热作为基准电阻,当有介质流动时，感热传感器所接收到的热量将随介质的流速变化而变化，感热传感器将这温差信号转化成电信号，在流速达到某设定点时，热式流量开关输出开关量信号。

热式流量开关原理图

热式流量开关特点：

无活动部件，免维护。

安装方便，一种型号适用于多种管径要求。

开关量连续调节，极低的压力损失。

结构紧凑，LED显示流动趋势及开关状态。

热式流量开关技术参数